l 激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器

l 激光波长：1064/532/355nm

l 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)

l 激光频率：200Hz-50KHz

l 典型光斑尺寸：30µm

实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm

l 泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时

l 冷却方式：风冷

l 对焦方式：计算机程序控制 l 激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）

l 点到点运动时间：5ms（典型）

l 最大速度：7000mm/s

l 重复定位精度：2.5µm

l 激光束最小步进：0.76µm l 监视方式：激光同轴监视

l 最大放大倍数：>100倍

l 图像监视显示屏：19寸液晶 l 激励方式：电流/电压激励

l 恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择

l 恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）

l 电阻测量方式：四线制加电流测电压

l 直流电压测量：10mV~10V（满程电压）

l 调节对象发热控制：程序可设定

l 电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）

中阻：<0.05%

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）

l 电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ

l 电阻测量速度：25&micro;s

l 直流电压分辨率：0.16&micro;V（在10mV满量程条件下）

l 探针板：44针11组四线制（可选其它规格）

l 探针板运动：计算机程序控制 l 工业控制计算机（双核），17寸液晶

l 操作系统：Windows XP

l VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大 l 运动XY范围：290x260mm

l 运动分辨率：1&micro;m

l 定位精度：小于6&micro;m（带误差补偿）

l 重复定位精度：小于3&micro;m

l 最大运动速度：900mm/s

l 具有温度补偿等功能 l 温度测量精度：0.2℃

l 调阻温度修正：计算机程序控制 l 供电电压：220V AC

l 整机功耗：小于1000W