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M○源是什么?

作者:紫南发布时间:2023-02-01浏览:464


源即高纯金属有机化合物是先进的金属有机化学气相沉积简称MOCVD、金属有机分子束外延简称MOMBE等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。 由于MO源产品要求纯度极高,而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感,遇空气可发生自燃,遇水可发生爆炸,且毒性大,所以MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的高新技术。


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