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真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理？
作者：小兔兔发布时间：2023-03-07浏览：463
离子镀膜其实是离子溅射镀膜，
对于导电靶材，使用直流偏压电源；非导电靶材，使用脉冲偏压电源。
你这个多弧离子镀膜机，可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源
偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场，一般是阴极加负高压。阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射，发射电子轰击气体分子，使之电离，并且气体被驱出的电子被电场加速，继续电离其他气体分子，连续不断，形成雪崩效应，气体被击穿，形成恒定的电离电流。此时离子也被加速，轰击靶材，将靶材中的原子驱除出表面，并沉积在样品表面。
电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器，靠电弧加热电离气体形成等离子体，而不是电子加速撞击。
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