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生产蓝宝石衬底的企业是否同时生产外延片？金属有机物气相外延(MOCVD)和泡生法分别是什么？有什么关联么？
作者：烟栀发布时间：2023-03-02浏览：462
生产蓝宝石衬底的企业暂时没有几个在同时生产外延片，除了向三安光电那样做了外延片之后又往前做衬底片的，因为外延片的资本技术等投入不是一下两下就能搞的定的，像蓝晶四联只做衬底，不做外延，但是四联可以做后道封装，所以大部分的衬底厂家不做外延片。MOCVD是氮化镓层在蓝宝石衬底片上生长的一种方法，又是因为这样的方法，所以一般又把这种机器叫MOCVD，MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
泡生法是一种蓝宝石晶体的长晶方法，又叫KYKyropoulos法，这种方法是将一根受冷的籽晶与熔体接触，如果界面的温度低于凝固点，则籽晶开始生长，为了使晶体不断长大，就需要逐渐降低熔体的温度，同时旋转晶体，以改善熔体的温度分布。也可以缓慢的或分阶段的上提晶体，以扩大散热面。MOCVD跟泡生法两者没有什么关联，如果非要说联系，那就说泡生法生长的晶体材料的品质问题会在MOCVD外延后有一定的体现。希望对你有用。
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