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mocvd是什么意思?
作者:山水闲人发布时间:2023-02-13浏览:489
MOCVD是一种基于VPE原理的新型气相外延生长技术。MOCVD是一种以III-II族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物为晶体生长源材料,在衬底上通过气相外延生长各种III-V主族、II-VI亚族化合物半导体和多元固溶体的薄层单晶材料。
一般MOCVD设备有手动操作和微机自动控制操作两种功能。
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